Die Mikrosystemtechnik beschäftigt sich mit der funktionalen Verknüpfung einzelner Mikrotechniken zu Mikrosystemen unter Anwendung verschiedener Systemtechniken. Unter Mikrosystemen werden dabei miniaturisierte Produkte verstanden, die eigenständig Daten erfassen, auswerten und Aktionen durchführen können. Mikrosysteme sind in ihrer Funktionsweise in vielen Fällen der Natur nachempfunden. Technisch werden dabei Sensor, Aktor und Datenverarbeitung auf einem Chip (monolithische Integration) oder Substrat (Hybridintegration) integriert. Die Professur Mikrosystemtechnik beschäftigt sich in Forschung und Lehre mit dem Entwurf, der Simulation, den Fertigungstechniken und der Messung von Mikrosystemen. Forschungsschwerpunkte sind dabei organische Halbleiterbauelemente, intelligente Sensoren, Gassensoren, SAW-Bauelemente sowie die Energieversorgung von Mikrosystemen. Für die Untersuchung der für Mikrosysteme wesentlichen Material-eigenschaften steht ein modern ausgestattetes Werkstoffanalytik- und Zuverlässigkeitslabor zur Verfügung.

Forschung

Der Bereich Mikrosystemtechnik beschäftigt sich mit dem Entwurf, der Simulation, den Fertigungstechniken und der Messung von organischen Halbleiterbauelementen, intelligenten Sensoren, Gassensoren, SAW-Bauelemente sowie der Energieversorgung von Mikrosystemen. Technisch werden dabei Sensor, Aktor und Datenverarbeitung auf einem Chip (monolithische Integration) oder Substrat (Hybridintegration) integriert.