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Senior Professorship Microsystems Technology (MST)

Parent Units:
Technische Universität Dresden (TUD)
German name: "Seniorprofessur Mikrosystemtechnik (MST)".

Contact

web: https://tu-dresden.de/ing/elektrotechnik/ihm/ms/die-professur
email: e-mail
phone: +49 (0)351 463-36336
fax: +49 (0)351 463-37172
postal address: Technische Universität Dresden (TUD), Senior Professorship Microsystems Technology (MST), 01062 Dresden, Germany
office address: Technische Universität Dresden (TUD), Senior Professorship Microsystems Technology (MST), Nöthnitzer Str. 64 (Mierdel-Bau, room 209), 01187 Dresden, Germany
partner: Technische Universität Dresden

Expertise

Die Mikrosystemtechnik beschäftigt sich mit der funktionalen Verknüpfung einzelner Mikrotechniken zu Mikrosystemen unter Anwendung verschiedener Systemtechniken. Unter Mikrosystemen werden dabei miniaturisierte Produkte verstanden, die eigenständig Daten erfassen, auswerten und Aktionen durchführen können. Mikrosysteme sind in ihrer Funktionsweise in vielen Fällen der Natur nachempfunden. Technisch werden dabei Sensor, Aktor und Datenverarbeitung auf einem Chip (monolithische Integration) oder Substrat (Hybridintegration) integriert. Die Professur Mikrosystemtechnik beschäftigt sich in Forschung und Lehre mit dem Entwurf, der Simulation, den Fertigungstechniken und der Messung von Mikrosystemen. Forschungsschwerpunkte sind dabei organische Halbleiterbauelemente, intelligente Sensoren, Gassensoren, SAW-Bauelemente sowie die Energieversorgung von Mikrosystemen. Für die Untersuchung der für Mikrosysteme wesentlichen Material-eigenschaften steht ein modern ausgestattetes Werkstoffanalytik- und Zuverlässigkeitslabor zur Verfügung.

 

Forschung

Der Bereich Mikrosystemtechnik beschäftigt sich mit dem Entwurf, der Simulation, den Fertigungstechniken und der Messung von organischen Halbleiterbauelementen, intelligenten Sensoren, Gassensoren, SAW-Bauelemente sowie der Energieversorgung von Mikrosystemen. Technisch werden dabei Sensor, Aktor und Datenverarbeitung auf einem Chip (monolithische Integration) oder Substrat (Hybridintegration) integriert.

 

Materialien und Prozesstechnik

  • Intrinsisch leitfähige Polymere als halbleitende Schichten in organischen Feldeffekttransistoren (OFET) auf flexiblen Schaltungsträgern
  • Dünne TiO2-Schichten mit multifunktionaler Anwendbarkeit
  • Herstellung von Nanostrukturen mittels Nanoimprinting (Entwicklung einer auf Nanoimprint basierenden Fertigungstechnologie für polymere Biosensoren)

Sensoren

  • Passives drahtloses Sensornetzwerk für Anwendungen in der Medizintechnik (SmartSens)
  • Hüftprothese mit telemetrischer Funktionsüberwachung (PROTEL)
  • Multisensorielles System zur Detektion komplexer biomedizinischer Daten und deren Telemedizinischer Übertragung (MUSE-TELEMED)
  • Weiterentwicklung der mikrosystemgestützten Verzahnungsdiagnose zur Getriebediagnose
  • Photonische Virusdiagnostik mittels Mikroring-Resonatoren

Simulation

  • Kombinierte Simulation dynamischer Systeme
  • Weitergabe von Wissen über E-Learning
  • 3D Visualisierung von Anlagen und Prozesse des In-Line Sputterns/MILEON – Microsystem Technology / Micro­system Lectures Online

Polymere Mikrosysteme

  • Integrierte Mikrofluidik-Prozessoren
  • Automatische Mikrofluidik
  • Bildgebende Systeme

 

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Last Update

Last updated at: 2016-12-02 09:32