Alle Geräte dieser Einrichtung anzeigen Cross Beam Scanning Electron Microscope with Focused Ion Beam (SEM/FIB - REM/FIB) Carl Zeiss Microscopy GmbH AURIGA ® 60
Informationen
| Name: | Cross Beam Scanning Electron Microscope with Focused Ion Beam (SEM/FIB - REM/FIB) | |
| Hersteller: | Carl Zeiss Microscopy GmbH | |
| Modell: | AURIGA ® 60 | |
| Einrichtung: | Micro Materials Center (MMC) | |
Beschreibung
Measure/Resolution:
FIB: 3 nm, REM, STEM: 1 nm
Accessory/Options:
max. 200 mm wafers; BRUKER EDX
Link zu weiteren Informationen
http://www.zeiss.com/microscopy/en_de/products/fib-sem-instruments.html
Ansprechpartner
Prof. Dr. Sven Rzepka (Head of Department)
Web:
Telefon:
+49 371 45001-421
Fax:
+49 371 45001-521
Notizen
This is an instrument within the Dresden Fraunhofer Cluster Nanoanalysis (DFCNA).
Bilder
| Vorschau | Beschreibung |
|---|---|
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Zeiss AURIGA 60 SEM/FIB (Quelle: www.zeiss.com) |
Letztes Update
Zuletzt aktualisiert am: 13. Juli 2017 um 11:54:13