Für die Untersuchung der Kristallstuktur und zur Phasenanalyse von z. B. Aktormaterialien ist die Röntgendiffraktometrie geeignet. Die Aktorwerkstoffe können in einem ein-, multi- bzw. polykristallinen Werkstoffzustand vorliegen und viele weitere Legierungselemente enthalten. Beim X-Ray-Verfahren können durch die einfache Probenanordnung und die kurzen Messzeiten ortsabhängige Verteilungen von Kristallparametern in kurzer Zeit ermittelt werden.