View all instruments of this unit Reflektometer
Basic Information
| Name: | Reflektometer | |
| Facility: | Sintering and Characterization | |
| Partner: | Fraunhofer Institute for Ceramic Technologies and Systems (IKTS) |
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Description
Gerät zur zerstörungsfreien Messung von Reflexionen.
Messgrößen von dünnen Schichten:
- Brechungsindex (wellenlängenabhängig)
- Absorption
- Reflektion
- Transmission (UV-Spektroskopie)
- Mapping von 300mm-Wafern
- Wellenlängenabhängiger Brechungsindex von Bulk-Material
Messbereich:
- 1-4 Schichten
- Substratgröße bis 300mm
Points of Contact
Dr. rer. nat. habil. Mathias Herrmann (Head of Department)
Web:
Phone:
+49 351 2553-7527
Fax:
+49 351 2554-122
Last Update
Last updated at: 13 July 2017 at 11:54:15