Alle Geräte dieser Einrichtung anzeigen Reflektometer
Informationen
| Name: | Reflektometer | |
| Einrichtung: | Sintern und Charakterisierung | |
| Partner: | Fraunhofer-Institut für Keramische Technologien und Systeme (IKTS) |
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Beschreibung
Gerät zur zerstörungsfreien Messung von Reflexionen.
Messgrößen von dünnen Schichten:
- Brechungsindex (wellenlängenabhängig)
- Absorption
- Reflektion
- Transmission (UV-Spektroskopie)
- Mapping von 300mm-Wafern
- Wellenlängenabhängiger Brechungsindex von Bulk-Material
Messbereich:
- 1-4 Schichten
- Substratgröße bis 300mm
Ansprechpartner
Dr. rer. nat. habil. Mathias Herrmann (Head of Department)
Web:
Telefon:
+49 351 2553-7527
Fax:
+49 351 2554-122
Letztes Update
Zuletzt aktualisiert am: 13. Juli 2017 um 11:54:15