Kontaktfotolithografie
Basic Information
Name: | Kontaktfotolithografie | |
Facility: | Chair for Semiconductor Technology (HLT) | |
Partner: | Technische Universität Dresden (TUD) |
Description
(Strukturgrößen >0.5 µm)
mit Beschichter, Mask Aligner und Entwickler für 6-8 inch Wafern
Points of Contact
Last Update
Last updated at: 13 July 2017 at 11:54:08