Anlage zum Chemisch Mechanischen Polieren Megapol Fa. Alpisec; G&P Korea

Basic Information

Name:	Anlage zum Chemisch Mechanischen Polieren
Manufacturer:	Megapol Fa. Alpisec; G&P Korea
Facility:	Chair for Semiconductor Technology (HLT)
Partner:	Technische Universität Dresden (TUD)

Prof. Dr. rer. nat. J.W. Bartha/ Mrs. R. Pfennig (Secretary)

Web:

Email:

Phone:

+49 351 463-35468

Fax:

+49 351 463-37172

Last updated at: 13 July 2017 at 11:54:08