View all instruments of this unit PVD Beschichtungsanlage FHR Anlagenbau GmbH / IHM TU Dresden Sonderanfertigung nach Vorgabe IHM
Basic Information
| Name: | PVD Beschichtungsanlage | |
| Manufacturer: | FHR Anlagenbau GmbH / IHM TU Dresden | |
| Model: | Sonderanfertigung nach Vorgabe IHM | |
| Facility: | Chair for Semiconductor Technology (HLT) | |
| Partner: | Technische Universität Dresden (TUD) |
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| Location: | Cleanroom Mierdel-Bau | |
Description
Cluster-Tool bestehend aus:
1. Eingabestation
2. Handler
3. Ionstrahlreinigung (inverser Ätzer)
4. Elektronenstrahl-Verdampfer (6 Tiegel)
5. Magnetronsputterkammer (4 x 200 mm Target; Drehbetrieb)
Points of Contact
Dr.rer.nat. Wenzel, Christian
Position:
Institutsoberassistent / senior scientist
Email:
Phone:
+4935146336413
Fax:
+4935146337172
Prof. Dr. rer. nat. J.W. Bartha/ Mrs. R. Pfennig (Secretary)
Email:
Phone:
+49 351 463-35468
Fax:
+49 351 463-37172
Images
| Preview | Description |
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Last Update
Last updated at: 13 July 2017 at 11:54:08