Chemical layer structuring
Basic Information
Name: | Chemical layer structuring | |
Facility: | Chair for Semiconductor Technology (HLT) | |
Partner: | Technische Universität Dresden (TUD) |
Short Description
Chemische Schichtstrukturierung - chemisches Naß- und Trockenätzen.
Description
Chemische Schichtstrukturierung - chemisches Naß- und Trockenätzen.
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Dr.rer.nat. Wenzel, Christian
Position:
Institutsoberassistent / senior scientist
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Prof. Dr. rer. nat. J.W. Bartha/ Mrs. R. Pfennig (Secretary)
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Last updated at: 27 March 2018 at 11:08:20