Profil anzeigen: Fakultät Elektrotechnik und Informationstechnik Geräte — Fakultät Elektrotechnik und Informationstechnik
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Vakuumbeschichtungsanlage
Hersteller: Pfeiffer Modell: PLS570 Einrichtung: Professur Plasmatechnik für Beschichtungsprozesse
Plasmareiniger (Mikrowelle und RF)
Hersteller: Plasma Electronic Modell: MR300D Einrichtung: Professur Plasmatechnik für Beschichtungsprozesse
Temper-, Diffusions- und Oxydationsöfen
Hersteller: ATV Technologie GmbH Vaterstetten Modell: ATV Einrichtung: Professur für Halbleitertechnik
