Profil anzeigen: Fakultät Elektrotechnik und Informationstechnik Geräte — Fakultät Elektrotechnik und Informationstechnik
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Vakuumbeschichtungsanlage
Hersteller: Pfeiffer
Modell: PLS570
Einrichtung: Professur Plasmatechnik für Beschichtungsprozesse
Plasmareiniger (Mikrowelle und RF)
Hersteller: Plasma Electronic
Modell: MR300D
Einrichtung: Professur Plasmatechnik für Beschichtungsprozesse
Temper-, Diffusions- und Oxydationsöfen
Hersteller: ATV Technologie GmbH Vaterstetten
Modell: ATV
Einrichtung: Professur für Halbleitertechnik
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