Hallraum

Einrichtung: Professur für Akustik und Haptik

Multimodales Messlabor

Einrichtung: Professur für Akustik und Haptik

Großer schallreflexionsarmer Raum

Einrichtung: Professur für Akustik und Haptik

Stylus Profilometer

Hersteller: Veeco
Modell: Dektak 8
Einrichtung: Professur für Halbleitertechnik

Profilometer bis 100mm Weglänge. Messungen intrinsischer Schichtspannungen.

Wafersäge

Hersteller: Disco Technologies Japan
Modell: DAD3350
Einrichtung: Professur für Halbleitertechnik

Focused Ion Beam (FIB)

Hersteller: FEI
Modell: Expida 1285
Einrichtung: Professur für Halbleitertechnik

Smart Scale Modularization plant

Einrichtung: Professur für Prozessleittechnik

Hitzdraht-Strömungsmesssystem

Hersteller: Dantec Dynamics
Modell: StreamLine 90N10
Einrichtung: Professur für Mess- und Sensorsystemtechnik

Reflexionsfreier Raum

Einrichtung: Institut für Musikinstrumentenbau

CVS Analysator

Hersteller: Metrohm AG
Modell: VA Computrace 797
Einrichtung: Professur für Halbleitertechnik