Der CO2-Laser „SM 2000 E“ ist ein Produkt der Firma FEHA Feinmechanische Werke Halle GmbH mit einer Wellenlänge von 10,6µm. Seine maximale kontinuierliche Laserleistung am Resonatorausgang beträgt min. 2000W und lässt sich ab 100W bis zum Maximum stufenlos einstellen. Die Intensitätsverteilung über den Strahlquerschnitt ist gaußförmig. Bei einer Resonatorlänge von 17,5m wird eine Strahlkennzahl von >0,8 garantiert. Der Strahl ist linear polarisiert. Der Laser kann alternativ im gepulsten Betrieb gefahren werden. Die geringst mögliche Pulsbreite beträgt 250µs und die maximal mögliche Pulsfrequenz 1kHz. Es können Pulsspitzen von >6kW erzeugt werden.

Der Laserstrahl wird über goldbeschichtete Planspiegel an zwei Bearbeitungsstationen reflektiert. Dort dienen eine statische Parabolspiegeloptik und eine Scanneroptik der Fokussierung (und Ablenkung) des Laserstrahls. Mit einer Brennweite von 150mm kann bei gegebener Strahlqualität ein Fokusradius von 42µm erreicht werden. Das führt zu maximal möglichen Intensitäten von 25MW/cm² im kontinuierlichen und 80MW/cm² im gepulsten Betrieb.

Technische Details: