Spectroscopic Ellipsometer SENTECH Instruments GmbH SE850
Informationen
Name: | Spectroscopic Ellipsometer | |
Hersteller: | SENTECH Instruments GmbH | |
Modell: | SE850 | |
Einrichtung: | Mikroelektronik und Nanoanalytik | |
Partner: | Fraunhofer-Institut für Keramische Technologien und Systeme (IKTS) |
Beschreibung
Measure/Resolution:
- 200 µm spot, 0.01 ° angular, 1/cm - 32/cm spectral
Spectral range 240 - 1700 nm
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Ansprechpartner
Notizen
This is an instrument within the Dresden Fraunhofer Cluster Nanoanalysis (DFCNA).
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Letztes Update
Zuletzt aktualisiert am: 13. Juli 2017 um 11:54:12