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Geräte — Mikroelektronik und Nanoanalytik

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Klimakammer

Einrichtung: Mikroelektronik und Nanoanalytik

X-ray Microscope (XRM)

Hersteller: Xradia (now Carl Zeiss Ultra)
Modell: NanoXCT-100
Einrichtung: Mikroelektronik und Nanoanalytik

Field Emission Scanning Electron Microscope (FE SEM) with focused ion beam (REM/ FIB)

Hersteller: Carl Zeiss SMT AG
Modell: CrossBeam NVision 40 ®
Einrichtung: Mikroelektronik und Nanoanalytik

Helios 5 PFIB CXe DualBeam

Hersteller: ThermoFisher
Modell: Helios 5 PFIB CXe
Einrichtung: Mikroelektronik und Nanoanalytik

Agilent AFAM 5600 LS (Quelle: www.agilent.com)

Atomic Force Acoustic Microscope (AFM/AFAM)

Hersteller: Agilent Technologies
Modell: 5600 LS
Einrichtung: Mikroelektronik und Nanoanalytik

Spectroscopic Ellipsometer

Hersteller: SENTECH Instruments GmbH
Modell: SE850
Einrichtung: Mikroelektronik und Nanoanalytik

Atomic Force Acoustic Microscope (AFM/AFAM)

Hersteller: Digital Instruments/ in-house development
Modell: Dimension 3000
Einrichtung: Mikroelektronik und Nanoanalytik

Hysitron TriboIndenter® TI 950 (Quelle: www.hysitron.com)

Nanoindenter

Hersteller: Hysitron Inc.
Modell: TriboIndenter ® TI 950
Einrichtung: Mikroelektronik und Nanoanalytik

Transmission Electron Microscope (TEM)

Hersteller: Carl Zeiss AG
Modell: LIBRA® 200 HR MC Cs STEM
Einrichtung: Mikroelektronik und Nanoanalytik

Röntgendiffraktometer XRD 3000PTS (Quelle: www.mb.uni-siegen.de)

Röntgendiffraktometer XRD/XRR

Hersteller: Firma Richard Seifert & Co. Ahrensburg (GE Inspection Technologies GmbH)
Modell: XRD 3000PTS
Einrichtung: Mikroelektronik und Nanoanalytik