Based on the SUPRA™ 55, the ULTRA 55 now comprises a fully integrated Energy and angle selective Backscattered electron (EsB) detector. The ULTRA 55 offers ultra high resolution for both SE to image surface information and BSE to present compositional information. The new EsB detector features an integrated filtering grid to enhance image quality and requires no additional adjustments. The EsB detector is less sensitive for edge contrast and charging effects which enables precise imaging and measurement of boundaries, particles, and features.
Combined with the large multi-port analytical chamber, the fully motorised 5-axes motorised eucentric stage and the GEMINI® high current mode the ULTRA 55 also offers superb analytical capabilities.
 

Accessory/Options:

EDS, WDS, EBIC

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Das System vereint die einzigartigen Detektionskapazitäten von ULTRA55 mit einem revolutionären Charge Compensation (CC) System für die Abbildung anspruchsvollster nicht leitender Proben.

Der vollautomatische Ladungskompensator kann in Verbindung mit allen von ULTRA55 her bekannten integrierten Detektoren wie EsB, In-lens, AsB und dem in der Kammer installierten Everhart-Thornley Detektor verwendet werden. Dank der einmaligen Kapazität beider In-lens-Detektoren auch im Ladungskompensationsmodus ist ZEISS ULTRA PLUS ein dediziertes nanoanalytisches Werkzeug für hochauflösende Bildgebung und Materialanalyse.

This is an instrument within the Dresden Fraunhofer Cluster Nanoanalysis (DFCNA).