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Field Emission Scanning Electron Microscope (FE SEM / FE REM Rasterelektronenmikroskop) Carl Zeiss AG SUPRA® 60

Informationen

Name: Field Emission Scanning Electron Microscope (FE SEM / FE REM Rasterelektronenmikroskop)
Hersteller: Carl Zeiss AG
Modell: SUPRA® 60
Einrichtung: Micro Materials Center (MMC)

Beschreibung

Measure/Resolution:

SEM: 1 nm

Accessory/Options:

  • max. 200 mm wafers
  • BRUKER EDX

Link zu weiteren Informationen

http://www.zeiss.com/microscopy/en_de/products/scanning-electron-microscopes/supra-materials.html

Ansprechpartner

Prof. Dr. Sven Rzepka (Head of Department)
Telefon:
+49 371 45001-421
Fax:
+49 371 45001-521

Notizen

This is an instrument within the Dresden Fraunhofer Cluster Nanoanalysis (DFCNA).

Bilder

Letztes Update

Zuletzt aktualisiert am: 13. Juli 2017 um 11:54:13