Rasterelektronenmikroskop Carl Zeiss AG
Informationen
Name: | Rasterelektronenmikroskop | |
Hersteller: | Carl Zeiss AG | |
Partner: | Fraunhofer-Institut für Fertigungstechnik und Angewandte Materialforschung, Institutsteil Dresden (IFAM) | |
Standort: | Fraunhofer IFAM Dresden |
Beschreibung
Abbildung bei hohen Vergrößerungen und Elementanalyse
Optionen der Gerätenutzung
- Dieses Gerät wird im Rahmen einer Dienstleistung oder Forschungsleistung (Kooperation) verwendet.
Ansprechpartner
Notizen
Elektronenquelle: Wolframglühkathode
Beschleunigungsspannung: 200 - 30 000 V
Auflösung: max. 3 nm bei 30 kV
Vakuum: 10-7 - 10-6 mbar
Detektoren: SE, BSE
EDX-Detektor: 10 mm² Si(Li)
Analysierbare Elemente: ab Be
Analysemöglichkeiten: Punkt, Linie, Fläche
Max. Probenmasse: 2 kg
Probenanzahl: max. 9
Bilder
Letztes Update
Zuletzt aktualisiert am: 3. Januar 2018 um 13:23:05