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Rasterelektronenmikroskop Carl Zeiss AG

Informationen

Name: Rasterelektronenmikroskop
Hersteller: Carl Zeiss AG
Partner: Fraunhofer-Institut für Fertigungstechnik und Angewandte Materialforschung, Institutsteil Dresden (IFAM)
Standort: Fraunhofer IFAM Dresden

Beschreibung

Abbildung bei hohen Vergrößerungen und Elementanalyse

Optionen der Gerätenutzung

Ansprechpartner

Dr.-Ing. Thomas Weißgärber (prov. director)
E-Mail:
Telefon:
+49 351 2537-300
Fax:
+49 351 2537-399

Notizen

Elektronenquelle: Wolframglühkathode
Beschleunigungsspannung: 200 - 30 000 V
Auflösung: max. 3 nm bei 30 kV
Vakuum: 10-7 - 10-6 mbar
Detektoren: SE, BSE
EDX-Detektor: 10 mm² Si(Li)
Analysierbare Elemente: ab Be
Analysemöglichkeiten: Punkt, Linie, Fläche
Max. Probenmasse: 2 kg
Probenanzahl: max. 9

Bilder

Letztes Update

Zuletzt aktualisiert am: 3. Januar 2018 um 13:23:05