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Niederspannungs-Rasterelektronenmikroskop mit Feldemissionskathode (FE REM) Carl Zeiss Microscopy GmbH DSM 982 Gemini

Informationen

Name:	Niederspannungs-Rasterelektronenmikroskop mit Feldemissionskathode (FE REM)
Hersteller:	Carl Zeiss Microscopy GmbH
Modell:	DSM 982 Gemini
Einrichtung:	Elektronenmikroskopisches Labor
Partner:	Technische Universität Dresden (TUD)

Kurzbeschreibung

Hochauflösendes Niederspannungs-Rasterelektronenmikroskop mit Feldemissionskathode.

Beschreibung

Hochauflösendes Niederspannungs-Rasterelektronenmikroskop mit Feldemissionskathode Zeiss DSM 982 Gemini:

Auflösung: probenabhängig, 1 nm bei 20 kV, 4 nm bei 1 kV
förderliche Vergrößerung: 100.000x – 200.000x -
Ausgerüstet mit SE-, SE-Inlens- und BSE-Detektor (Robinson-Detektor)
Pixelauflösungen der Bilder frei wählbar durch externes Bildeinzugs- und Strahlsteuerungssystem DISS der Fa. Point-electronic
Noran-Voyager-3000-EDX-System mit Si(Li)-Detektor