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Rasterelektronenmikroskop (REM) mit Wolfram-Kathode Carl Zeiss Microscopy GmbH DSM 950

Informationen

Name:	Rasterelektronenmikroskop (REM) mit Wolfram-Kathode
Hersteller:	Carl Zeiss Microscopy GmbH
Modell:	DSM 950
Einrichtung:	Elektronenmikroskopisches Labor
Partner:	Technische Universität Dresden (TUD)

Kurzbeschreibung

Konventionelles Rasterelektronenmikroskop mit Wolfram-Kathode.

Beschreibung

Konventionelles Rasterelektronenmikroskop mit Wolfram-Kathode Zeiss DSM 950:

Auflösung: probenabhängig, ca. 10 nm bei 20 kV
förderliche Vergrößerung: 20.000x – 30.000x
Standard-SE-Detektor und 3d-BSE-Detektor (Point-electronic) mit MeX-Software (Alicona)
3d-Rekonstruktionen der Oberfläche, Rauheitsmessungen
Pixelauflösungen der Bilder frei wählbar durch externes Bildeinzugs- und Strahlsteuerungssystem DISS der Fa. Point-electronic
Noran-System 7 -EDX-System mit SDD-Detektor