Alle Geräte dieser Einrichtung anzeigen Vakuumbeschichtungsanlage mit Hochleistungselektronenstrahlausrüstung (100 kW) EMO
Informationen
| Name: | Vakuumbeschichtungsanlage mit Hochleistungselektronenstrahlausrüstung (100 kW) | |
| Modell: | EMO | |
| Partner: | Fraunhofer-Institut für Organische Elektronik, Elektronenstrahl- und Plasmatechnik (FEP) |
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Kurzbeschreibung
Vakuumbeschichtungsanlage mit Hochleistungselektronenstrahlausrüstung (100 kW) zur Bedampfung und zum Umschmelzen unter aufskalierbaren Bedingungen.
Beschreibung
Vakuumbeschichtungsanlage mit Hochleistungselektronenstrahlausrüstung (100 kW) zur Bedampfung und zum Umschmelzen unter aufskalierbaren Bedingungen.
Typische Substrate
- Beschichtung von Platten aus Metall, Kunststoff, Glas oder Keramik mit einer maximalen Abmessung von 100 × 200 mm
- Beschichtung von dreidimensionalen Bauteilen
Aufgabenspektrum
- Machbarkeitsstudien
- Technologieentwicklung, insbesondere neuer Plasmaprozesse bei der Hochratebedampfung und Substratvorbehandlung
- Entwicklung neuer PVD-Schichtsysteme
- Grundlegende Untersuchungen zur Elektronenstrahlverdampfung
- Test von Schlüsselkomponenten unter industrienahen Bedingungen
Link zu weiteren Informationen
https://www.fep.fraunhofer.de/de/Kernkompetenzen/Anlagentechnik/emo.html
Optionen der Gerätenutzung
- Dieses Gerät wird im Rahmen einer Dienstleistung oder Forschungsleistung (Kooperation) verwendet.
Ansprechpartner
Bilder
| Vorschau | Beschreibung |
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Quelle: © Fraunhofer FEP |
Fraunhofer FEP Vakuumbeschichtungsanlage mit Hochleistungselektronenstrahlausrüstung (100kW) EMO |
Letztes Update
Zuletzt aktualisiert am: 7. Juni 2019 um 09:30:53