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In-Line Sputter-Anlage für die Präzisionsbeschichtung großer Substrate PreSensLine

Informationen

Name: In-Line Sputter-Anlage für die Präzisionsbeschichtung großer Substrate
Modell: PreSensLine
Partner: Fraunhofer-Institut für Organische Elektronik, Elektronenstrahl- und Plasmatechnik (FEP)

Kurzbeschreibung

Die PreSensLine ist eine Beschichtungsanlage für die dynamische Beschichtung durch reaktives Puls-Magnetron-Sputtern nach dem In-line-Prinzip.

Beschreibung

Die PreSensLine ist eine Beschichtungsanlage für die dynamische Beschichtung durch reaktives Puls-Magnetron-Sputtern nach dem In-line-Prinzip. Die Anlage erlaubt die Herstellung von hochpräzisen, komplexen Multilagenschichtsystemen, von Gradientenschichtsystemen sowie von Freiformbeschichtungen auf großen ebenen oder gewölbten Substraten.

Link zu weiteren Informationen

https://www.fep.fraunhofer.de/content/dam/fep/de/documents/Anlagenflyer/F12_PreSensLine_DE_net.pdf

Optionen der Gerätenutzung

Ansprechpartner

Ines Schedwill
E-Mail:
Telefon:
+49 351 8823-238
Fax:
+49 351 8823-394

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Zuletzt aktualisiert am: 7. Juni 2019 um 09:49:25