In-Line Sputter-Anlage für die Präzisionsbeschichtung großer Substrate PreSensLine
Informationen
Name: | In-Line Sputter-Anlage für die Präzisionsbeschichtung großer Substrate | |
Modell: | PreSensLine | |
Partner: | Fraunhofer-Institut für Elektronenstrahl- und Plasmatechnik (FEP) |
Kurzbeschreibung
Die PreSensLine ist eine Beschichtungsanlage für die dynamische Beschichtung durch reaktives Puls-Magnetron-Sputtern nach dem In-line-Prinzip.
Beschreibung
Die PreSensLine ist eine Beschichtungsanlage für die dynamische Beschichtung durch reaktives Puls-Magnetron-Sputtern nach dem In-line-Prinzip. Die Anlage erlaubt die Herstellung von hochpräzisen, komplexen Multilagenschichtsystemen, von Gradientenschichtsystemen sowie von Freiformbeschichtungen auf großen ebenen oder gewölbten Substraten.
Link zu weiteren Informationen
https://www.fep.fraunhofer.de/content/dam/fep/de/documents/Anlagenflyer/F12_PreSensLine_DE_net.pdf
Optionen der Gerätenutzung
- Dieses Gerät wird im Rahmen einer Dienstleistung oder Forschungsleistung (Kooperation) verwendet.
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Letztes Update
Zuletzt aktualisiert am: 7. Juni 2019 um 09:49:25