Die Stiftungsprofessur für Ultrapräzisionsbearbeitung von Oberflächen mit Ionen und Plasmen (UPB) beschäftigt sich mit der Erforschung und Entwicklung von teilchenstrahl-basierten Werkzeugen mit atomaren Wirkmechanismen und deren Anwendung in Verfahren und Verfahrensketten. Ziel ist es, hochgenaue Oberflächen sowohl in Bezug auf ihre Form als auch bei der Welligkeit und Mikrorauheit zu erzeugen.