Die Abteilung Ionenstrahlzentrum befasst sich mit der Modifikation und Analyse von Festkörperoberflächen unter Nutzung von Ionen in einem weiten Energiebereich (eV bis MeV). Die Abteilung sichert den Betrieb und die methodische Entwicklung einer Vielzahl von Ionenstrahl- und Plasmaverfahren. Die Nutzung der Anlagen für die Materialforschung erfolgt in enger Zusammenarbeit mit den anderen Institutsabteilungen. Zur umfassenden Materialcharakterisierung werden neben der Ionenstrahlanalytik auch die Elektronenmikroskopie (TEM, REM, Cross-Beam-Anlagen) sowie röntgenbasierte Analysetechniken zur Strukturaufklärung eingesetzt. F&E-Arbeiten zur Anwendung ioneninduzierter Effekte oder Strukturen für opto- und nanoelektronischen Bauelemente können in einem Klasse 100 Reinraum durchgeführt werden.

Als Nutzereinrichtung steht das Ionenstrahlzentrum (IBC) nationalen und internationalen Partnern für die wissenschaftliche Forschung und in Zusammenarbeit mit der HZDR Innovation GmbH als Serviceeinrichtung zur Verfügung.

Projektgruppen:

• Ionen­techno­logie
• Ionen- und Strukturanalytik
• Ioneninduzierte Nano­struk­turen
• Prozess­techno­logie / Reinraum
• Atomistische Simulation ioneninduzier­ter Phänomene

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The division Ion Beam Center focuses on the modification and analysis of solid surfaces by the use of ions in a wide energy range (eV to MeV). The department ensures the operation and the methodical development of a variety of ion beam and plasma techniques. The use of facilities for materials research occures in close collaboration with other institute departmentals. In addition to ion beam analysis, for a comprehensive characterization of materials electron microscopy (TEM, SEM, cross-beam systems), and X-ray-based analysis techniques are used for structural elucidation. R&D work using ion-induced effects or structures for opto-and nanoelectronic devices can be performed in a class 100 clean room.

The Ion Beam Center (IBC) acts as a Helmholtz user facility for ion beam techniques available to national and international partners. Ion beam services is provides in a close collaboration with the HZDR Innovation GmbH.

Project groups

• Ion Technology
• Ion Beam / Structure Analysis
• Ion Induced Nanostructures
• Process Technology and Devices
• Atomistic Simulations of irradiation-induced Phenomena