Das Ionenstrahlzentrum (Ion Beam Center - IBC) am HZDR ist eine der führenden europäischen Nutzereinrichtungen für grundlegende und anwendungsorientierte Studien in der Physik und Werkstoffkunde mit Ionen. Das IBC steht für eine langjährige wissenschaftliche und technische Expertise und betreibt verschiedene Maschinen und ca. 40 Endstationen, die Ionenstrahlen für fast alle stabilen Elemente in einem Energiebereich von eV bis zu 60 MeV liefern können.

Zu den vom IBC angebotenen Dienstleistungen gehören die Ionenstrahlmodifikation von Materialien durch Ionenimplantation und -bestrahlung, die Oberflächenbearbeitung durch niederenergetische Ionen (LEI) und hochgeladene Ionen (HCl) oder fokussierte Ionenstrahlen (FIB), Ionenstrahlanalyse (IBA) und Beschleuniger-Massenspektrometrie (AMS).

Zu den Highlights des IBC zählen IBA-Setups für In-Situ-Dünnschicht-Studien (teilweise in Echtzeit), eine Doppel-Beamline, eine PIXE-Kamera und eine Ionenmikrosonde für die chemische Bildgebung großer Proben mit anpassbarer räumlicher Auflösung sowie ein Ionenmikroskop (ORION Nanolab) für hochauflösende Bildgebung und Nanofabrikation. Anwender des IBC können von Zusatzangeboten wie Probenvorbereitung und Reinraumverarbeitung, Oberflächen- und Dünnschichtmesstechnik (Elektronenmikroskopie und -spektroskopie, Röntgenstreuung) und der Verfügbarkeit spezieller Software zur Simulation von Prozessen oder Datenauswertung profitieren.

Das Ionenstrahlzentrum stellt seine Einrichtungen und Dienstleistungen Anwendern aus Forschung und Industrie zur Verfügung. Die IBC-Benutzerstrahlzeit ist auf mehr als 14.000 Stunden pro Jahr (2017) angewachsen. Externe Forscher nutzten etwa 45% der Strahlzeit während die Industrie 25% nutzte. Forschern wird der Zugang kostenlos gewährt.

Zugang

Der Zugang zum IBC erfolgt auf Basis eines Antragverfahrens. Anträge können kontinuierlich über das Portal HZDR-GATE eingereicht werden. Die wissenschaftliche Qualität des Antrages wird von einem externen internationalen Gutachtergremium bewertet und einer Rangstufe zugeordnet. Fast-Track-Zugriff wird für kleine Test- / Pilot-Experimente nach direkter Genehmigung durch lokale IBC-Experten angeboten. Für industrielle / kommerzielle Ionenstrahl-Dienstleistungen bietet die HZDR-Spin-off-Firma HZDR Innovation GmbH einen schnellen und direkten Zugang zu den Anlagen auf Basis individueller Verträge.

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The Ion Beam Center (IBC) at the HZDR is a leading European user facility for basic and application-oriented studies in the field of physics and materials science with ions. The IBC stands for many years of scientific and technical expertise and operates various machines and about 40 dedicated end-stations providing ion beams of almost all stable elements in a wide energy range from eV to 60 MeV.

Amongst the services offered at the IBC are ion beam modification of materials by ion implantation and irradiation, surface processing by low-energy / highly-charged ions (LEI/HCI) or focused ion beams (FIB), ion beam analysis (IBA), and accelerator mass spectrometry (AMS). Some of the IBC’s highlights include IBA set-ups for in-situ (partly real-time) thin films studies, a double beamline, a PIXE camera and an ion microprobe for chemical imaging of large samples with adaptable spatial resolution, as well as an ion microscope (ORION Nanolab) for high-resolution imaging and nanofabrication. Users of the IBC can take advantage from add-on services comprising sample preparation and clean-room processing, surface and thin film metrology (electron microscopy and spectroscopy, X-ray scattering) and the availability of specific software for the simulation of ion-related processes or data evaluation.

The IBC offers its facilities and services to users from research and industry. The IBC user beam time has grown to more than 14.000 hours per year (2017). External researchers utilized about 45% of the beam time while industry utilized 25%. For researchers access to IBC facilities is granted free of charge.

Access

Access to the IBC is provided based on a proposal procedure. Proposals can be submitted via the portal HZDR-GATE continuously. The scientific quality of the proposal is evaluated and ranked by an external international user selection panel. Fast-track access is offered for small scale test / pilot experiments after direct approval by local IBC experts. For industrial / commercial ion beam services the HZDR spin-off company HZDR Innovation GmbH offers fast and direct access to the facilities based on individual contracts