Großflächige Abscheidung leitfähiger oder isolierender Schichten bei Atmosphärendruck / Large area deposition of conducting and insulating layers at atmospheric pressure
Informationen
Name: | Großflächige Abscheidung leitfähiger oder isolierender Schichten bei Atmosphärendruck / Large area deposition of conducting and insulating layers at atmospheric pressure | |
Einrichtung: | ||
Partner: | Technische Universität Dresden (TUD) | |
Partner: | Fraunhofer-Institut für Werkstoff- und Strahltechnik (IWS) |
Beschreibung
Dünne Schichten werden mittels eines Spray-Pyrolyse-Prozesses auf ebene Substrate aufgebracht. Mit dieser Methode können einfach und preisgünstig homogene Schichten aus z.B. dotiertem Aluminiumoxid oder Zinkoxid mit ausgezeichneten Eigenschaften abgeschieden werden. Auch die Abscheidung von dünnen leitfähigen Schichten aus Kohlenstoffnanostrukturen wie Kohlenstoffnanoröhren (CNT) oder Graphen ist möglich.
In der Laboranlage des IWS können Substrate bis zu einer Größe von 156 mm x 156 mm beschichtet werden. Anwendungen liegen z.B. in der Herstellung von Passivierungsschichten für Solarzellen oder von transparenten leitfähigen Schichten.
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Thin layers are applied on planar substrates using spray-pyrolysis processes. By this means homogeneous layers with excellent properties, e.g. consisting of doped aluminum or zinc oxide, can be deposited. Furthermore it is possible to deposit extremely thin and electro-conductive layers based on carbon nanostructures such as carbon nanotubes (CNTs) or graphene as well.
In the laboratory we are able to coat substrates up to a size of 156 by 156 mm2. Possible applications are the passivation of solar cells or the fabrication of transparent conductive layers.
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Zuletzt aktualisiert am: 13. Juli 2017 um 11:54:17