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Anlagen zur galvanischen bzw. chemisch stromlosen Abscheidung von Metallen und Legierungen
Manufacturer: Fa. RENA und Eigenbau
Facility: Chair for Semiconductor Technology
Rasterkraftmikroskop
Manufacturer: Digital Instruments Inc.
Model: DI 3500 M
Facility: Chair for Semiconductor Technology
PVD Beschichtungsanlage
Manufacturer: FHR Anlagenbau GmbH / IHM TU Dresden
Model: Sonderanfertigung nach Vorgabe IHM
Facility: Chair for Semiconductor Technology
XPS/AFM/STM Analysetool in Verbindung mit einer ALD Beschichtungsanlage
Manufacturer: Omikron
Facility: Chair for Semiconductor Technology
Rasterelektronenmikroskop
Manufacturer: Philips
Model: XL 40
Facility: Chair for Semiconductor Technology
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