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Anlagen zur galvanischen bzw. chemisch stromlosen Abscheidung von Metallen und Legierungen
Manufacturer: Fa. RENA und Eigenbau Facility: Chair for Semiconductor Technology
Rasterkraftmikroskop
Manufacturer: Digital Instruments Inc. Model: DI 3500 M Facility: Chair for Semiconductor Technology
PVD Beschichtungsanlage
Manufacturer: FHR Anlagenbau GmbH / IHM TU Dresden Model: Sonderanfertigung nach Vorgabe IHM Facility: Chair for Semiconductor Technology
XPS/AFM/STM Analysetool in Verbindung mit einer ALD Beschichtungsanlage
Manufacturer: Omikron Facility: Chair for Semiconductor Technology
Rasterelektronenmikroskop
Manufacturer: Philips Model: XL 40 Facility: Chair for Semiconductor Technology
