View all instruments of this unit Cluster-Tool zur Beschichtung und Strukturierung von dünnen Schichten
Basic Information
| Name: | Cluster-Tool zur Beschichtung und Strukturierung von dünnen Schichten | |
| Facility: | Chair for Semiconductor Technology (HLT) | |
| Partner: | Technische Universität Dresden (TUD) |
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Description
Cluster-Tool zur Beschichtung und Strukturierung von dünnen Schichten (2xPVD; ICP soft clean; RIE; PE-CVD)
Points of Contact
Prof. Dr. rer. nat. J.W. Bartha/ Mrs. R. Pfennig (Secretary)
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Last updated at: 13 July 2017 at 11:54:08