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Cluster-Tool zur Beschichtung und Strukturierung von dünnen Schichten

Basic Information

Name: Cluster-Tool zur Beschichtung und Strukturierung von dünnen Schichten
Facility: Chair for Semiconductor Technology (HLT)
Partner: Technische Universität Dresden (TUD)

Description

Cluster-Tool zur Beschichtung und Strukturierung von dünnen Schichten (2xPVD; ICP soft clean; RIE; PE-CVD)

Points of Contact

Prof. Dr. rer. nat. J.W. Bartha/ Mrs. R. Pfennig (Secretary)
Email:
Phone:
+49 351 463-35468
Fax:
+49 351 463-37172

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Last updated at: 13 July 2017 at 11:54:08