Das MSV-300 verwendet das Laser-Doppler-Vibro- metrie-Verfahren zur berührungslosen Messung des flächenhaften Out-of-Plane Schwingungsverhaltens von Mikrostrukturen. Das Gerät lässt sich problem- los an jedes Mikroskop mit C-Mount-Adapter anschließen und ermöglicht die Messung von Flächen bis zu 320 x 240 μm 2 mit einer Auflösung von 1 μm.

This is an instrument within the Dresden Fraunhofer Cluster Nanoanalysis (DFCNA).