Rauheitsmessplatz - Schichtdickenmessgerät für planare Substrate Mahr GmbH MarSurf XR 20
Basic Information
Name: | Rauheitsmessplatz - Schichtdickenmessgerät für planare Substrate | |
Manufacturer: | Mahr GmbH | |
Model: | MarSurf XR 20 | |
Partner: | Fraunhofer Institute for Ceramic Technologies and Systems (IKTS) |
Description
Messgrößen:
- Schichtdicken
- Rauigkeiten
Messbereich:
- Profilauflösung: bis 0,76 nm bei Messbereich ± 25 μm, abhängig vom Tastertyp
- Messbereich : ± 25 μm bis ± 250 μm, abhängig vom Tastertyp
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Points of Contact
Notes
Messprinzip |
Tastschnittverfahren |
---|---|
Taster |
R-Taster, MFW 250 B |
Messbereich mm |
MFW 250: ±25 μm, ±250 μm, (bis ±750 μm); ±1,000 μin, ±10,000 μin, (bis ±30,000 μin) |
Filter gemäß ISO/JIS |
Filter gemäß ISO 16610-21 (vorher ISO 11562), Robuster Gaußfilter gemäß ISO 16610-31, Filter gemäß ISO 13565 |
Taststrecken |
Automatik; 0,56 mm; 1,75 mm; 5,6 mm; 17,5 mm, 56 mm*, |
Anzahl n der Einzelmessstrecken gemäß ISO/JIS |
1 bis 50 (Standard: 5) |
Kennwerte |
Über 100 Kennwerte für R-, P-, W-Profil |
Images
Last Update
Last updated at: 13 July 2017 at 11:54:16