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Rauheitsmessplatz - Schichtdickenmessgerät für planare Substrate Mahr GmbH MarSurf XR 20

Basic Information

Name: Rauheitsmessplatz - Schichtdickenmessgerät für planare Substrate
Manufacturer: Mahr GmbH
Model: MarSurf XR 20
Partner: Fraunhofer Institute for Ceramic Technologies and Systems (IKTS)

Description

Messgrößen:

  • Schichtdicken
  • Rauigkeiten

 

Messbereich:

  • Profilauflösung: bis 0,76 nm bei Messbereich ± 25 μm, abhängig vom Tastertyp
  • Messbereich : ± 25 μm bis ± 250 μm, abhängig vom Tastertyp

Link to Further Details

https://www.mahr.com/de/Leistungen/Fertigungsmesstechnik/Produkte/MarSurf---PC-basierende-Rauheitsmessger%C3%A4te/MarSurf-XR-20-mit-GD-25/

Points of Contact

Institute
Email:
Phone:
+49 351 2553-7700
Fax:
+49 351 2553-7600

Notes

Messprinzip

Tastschnittverfahren

Taster

R-Taster, MFW 250 B

Messbereich mm

MFW 250: ±25 μm, ±250 μm, (bis ±750 μm); ±1,000 μin, ±10,000 μin, (bis ±30,000 μin)

Filter gemäß ISO/JIS

Filter gemäß ISO 16610-21 (vorher ISO 11562), Robuster Gaußfilter gemäß ISO 16610-31, Filter gemäß ISO 13565

Taststrecken

Automatik; 0,56 mm; 1,75 mm; 5,6 mm; 17,5 mm, 56 mm*,
Messen bis Stopp, variabel
* Taststrecke vom Vorschubgerät abhängig

Anzahl n der Einzelmessstrecken gemäß ISO/JIS

1 bis 50 (Standard: 5)

Kennwerte

Über 100 Kennwerte für R-, P-, W-Profil
gemäß aktueller Normung ISO/JIS oder Motif (ISO 12085)

Images

Last Update

Last updated at: 13 July 2017 at 11:54:16