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Rauheitsmessplatz - Schichtdickenmessgerät für planare Substrate Mahr GmbH MarSurf XR 20

Informationen

Name: Rauheitsmessplatz - Schichtdickenmessgerät für planare Substrate
Hersteller: Mahr GmbH
Modell: MarSurf XR 20
Partner: Fraunhofer-Institut für Keramische Technologien und Systeme (IKTS)

Beschreibung

Messgrößen:

  • Schichtdicken
  • Rauigkeiten

 

Messbereich:

  • Profilauflösung: bis 0,76 nm bei Messbereich ± 25 μm, abhängig vom Tastertyp
  • Messbereich : ± 25 μm bis ± 250 μm, abhängig vom Tastertyp

Link zu weiteren Informationen

https://www.mahr.com/de/Leistungen/Fertigungsmesstechnik/Produkte/MarSurf---PC-basierende-Rauheitsmessger%C3%A4te/MarSurf-XR-20-mit-GD-25/

Ansprechpartner

Institut
E-Mail:
Telefon:
+49 351 2553-7700
Fax:
+49 351 2553-7600

Notizen

Messprinzip

Tastschnittverfahren

Taster

R-Taster, MFW 250 B

Messbereich mm

MFW 250: ±25 μm, ±250 μm, (bis ±750 μm); ±1,000 μin, ±10,000 μin, (bis ±30,000 μin)

Filter gemäß ISO/JIS

Filter gemäß ISO 16610-21 (vorher ISO 11562), Robuster Gaußfilter gemäß ISO 16610-31, Filter gemäß ISO 13565

Taststrecken

Automatik; 0,56 mm; 1,75 mm; 5,6 mm; 17,5 mm, 56 mm*,
Messen bis Stopp, variabel
* Taststrecke vom Vorschubgerät abhängig

Anzahl n der Einzelmessstrecken gemäß ISO/JIS

1 bis 50 (Standard: 5)

Kennwerte

Über 100 Kennwerte für R-, P-, W-Profil
gemäß aktueller Normung ISO/JIS oder Motif (ISO 12085)

Bilder

Letztes Update

Zuletzt aktualisiert am: 13. Juli 2017 um 11:54:16