Cluster-Tool zur Beschichtung und Strukturierung von dünnen Schichten
Informationen
Name: | Cluster-Tool zur Beschichtung und Strukturierung von dünnen Schichten | |
Einrichtung: | Professur für Halbleitertechnik (HLT) | |
Partner: | Technische Universität Dresden (TUD) |
Beschreibung
Cluster-Tool zur Beschichtung und Strukturierung von dünnen Schichten (2xPVD; ICP soft clean; RIE; PE-CVD)
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Letztes Update
Zuletzt aktualisiert am: 13. Juli 2017 um 11:54:08