Cluster-Tool zur Beschichtung und Strukturierung von dünnen Schichten

Informationen

Name:	Cluster-Tool zur Beschichtung und Strukturierung von dünnen Schichten
Einrichtung:	Professur für Halbleitertechnik (HLT)
Partner:	Technische Universität Dresden (TUD)

Cluster-Tool zur Beschichtung und Strukturierung von dünnen Schichten (2xPVD; ICP soft clean; RIE; PE-CVD)

Prof. Dr. rer. nat. J.W. Bartha/ Mrs. R. Pfennig (Secretary)

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+49 351 463-35468

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+49 351 463-37172

Zuletzt aktualisiert am: 13. Juli 2017 um 11:54:08