View all instruments of this unit Furnace ATV Technologie GmbH ATV PEO-630
Basic Information
| Name: | Furnace | |
| Manufacturer: | ATV Technologie GmbH | |
| Model: | ATV PEO-630 | |
| Facility: | Institute of Electronic Packaging Technology (IAVT) |
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| Partner: | Technische Universität Dresden (TUD) |
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Short Description
Brennofen zum Brennen und Sintern von Keramiken.
Description
Anwendung
Brennen und Sintern von Keramiken
Eigenschaften
- Temperaturbereich: 250-1100 °C (unter 250°C kann die Temperatur nur ungenau geregelt werden)
- max. Heizrate: 50 K/min
- max. Kühlrate (über 500°C): 50 K/min
- max. Substratgröße: 200x270 mm²
- verfügbare Gase: Luft, Stickstoff (jeweils 0-10 oder 10-50 slm)
- Zubehör:
- ebene Substratauflage 200x200 mm²
- Magazine für 10 Substrate 204x204 mm²
- Al2O3-Setterplatten 202x270 mm² (Dicke 1mm; zum Einbringen von LTCC-Laminaten oder kleineren Substraten in das 10fach-Magazin)
- Hochspannungsdurchführung 7,5 kV (über Abgasstrang)
- 5 Mantelthermoelemente zum Bestimmen der Temperaturverteilung im Ofenraum
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Points of Contact
Prof. Dr.-Ing. Dr. h.c. K. Bock/ Mrs. S. Taupitz (Secretary)
Web:
Email:
Phone:
+49 (0) 351 463-36345
Fax:
+49 (0) 351 463-37035
Last Update
Last updated at: 6 July 2018 at 14:41:01