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Stylus Profilometry Veeco Dektak 8

Basic Information

Name: Stylus Profilometry
Manufacturer: Veeco
Model: Dektak 8
Facility: Chair for Semiconductor Technology (HLT)
Partner: Technische Universität Dresden (TUD)
Location: Cleanroom Mierdel-Bau

Short Description

Profilometer bis 100mm Weglänge. Messungen intrinsischer Schichtspannungen.

Description

Details:

  • Profilometer bis 100mm Weglänge
  • Messungen intrinsischer Schichtspannungen

Points of Contact

Prof. Dr. rer. nat. J.W. Bartha/ Mrs. R. Pfennig (Secretary)
Email:
Phone:
+49 351 463-35468
Fax:
+49 351 463-37172

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Last updated at: 27 March 2018 at 11:24:29