View all instruments of this unit Stylus Profilometry Veeco Dektak 8
Basic Information
| Name: | Stylus Profilometry | |
| Manufacturer: | Veeco | |
| Model: | Dektak 8 | |
| Facility: | Chair for Semiconductor Technology (HLT) | |
| Partner: | Technische Universität Dresden (TUD) |
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| Location: | Cleanroom Mierdel-Bau | |
Short Description
Profilometer bis 100mm Weglänge. Messungen intrinsischer Schichtspannungen.
Description
Details:
- Profilometer bis 100mm Weglänge
- Messungen intrinsischer Schichtspannungen
Points of Contact
Prof. Dr. rer. nat. J.W. Bartha/ Mrs. R. Pfennig (Secretary)
Web:
Email:
Phone:
+49 351 463-35468
Fax:
+49 351 463-37172
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| Preview | Description |
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Last Update
Last updated at: 27 March 2018 at 11:24:29