Alle Geräte dieser Einrichtung anzeigen Stylus Profilometer Veeco Dektak 8
Informationen
| Name: | Stylus Profilometer | |
| Hersteller: | Veeco | |
| Modell: | Dektak 8 | |
| Einrichtung: | Professur für Halbleitertechnik (HLT) | |
| Partner: | Technische Universität Dresden (TUD) |
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| Standort: | Cleanroom Mierdel-Bau | |
Kurzbeschreibung
Profilometer bis 100mm Weglänge. Messungen intrinsischer Schichtspannungen.
Beschreibung
Details:
- Profilometer bis 100mm Weglänge
- Messungen intrinsischer Schichtspannungen
Ansprechpartner
Prof. Dr. rer. nat. J.W. Bartha/ Mrs. R. Pfennig (Secretary)
Web:
E-Mail:
Telefon:
+49 351 463-35468
Fax:
+49 351 463-37172
Bilder
| Vorschau | Beschreibung |
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Letztes Update
Zuletzt aktualisiert am: 27. März 2018 um 11:24:29