Fotolithografie
Basic Information
Name: | Fotolithografie | |
Facility: | Chair for Semiconductor Technology (HLT) | |
Partner: | Technische Universität Dresden (TUD) |
Description
(Strukturgrößen >0.5 µm)
mit Beschichter, Mask Aligner und Entwickler für 6-8 inch Wafern
Link to Further Details
https://tu-dresden.de/ing/elektrotechnik/ihm/hlt/kooperation/angebote
Points of Contact
Dr.rer.nat. Wenzel, Christian
Position:
Institutsoberassistent / senior scientist
Phone:
+4935146336413
Fax:
+4935146337172
Prof. Dr. rer. nat. J.W. Bartha/ Mrs. R. Pfennig (Secretary)
Phone:
+49 351 463-35468
Fax:
+49 351 463-37172
Last Update
Last updated at: 13 July 2017 at 11:54:17