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Fotolithografie

Informationen

Name: Fotolithografie
Einrichtung: Professur für Halbleitertechnik (HLT)
Partner: Technische Universität Dresden (TUD)

Beschreibung

(Strukturgrößen >0.5 µm)
mit Beschichter, Mask Aligner und Entwickler für 6-8 inch Wafern

Link zu weiteren Informationen

https://tu-dresden.de/ing/elektrotechnik/ihm/hlt/kooperation/angebote

Ansprechpartner

Dr.rer.nat. Wenzel, Christian
Position:
Institutsoberassistent / senior scientist
E-Mail:
Telefon:
+4935146336413
Fax:
+4935146337172
Prof. Dr. rer. nat. J.W. Bartha/ Mrs. R. Pfennig (Secretary)
E-Mail:
Telefon:
+49 351 463-35468
Fax:
+49 351 463-37172

Letztes Update

Zuletzt aktualisiert am: 13. Juli 2017 um 11:54:17