Wafer Coating
Basic Information
Name: | Wafer Coating | |
Facility: | Chair for Semiconductor Technology (HLT) | |
Partner: | Technische Universität Dresden (TUD) |
Short Description
Waferbeschichtung - Oxidation, PECVD-, ALD- und PVD-Prozesse für Herstellung funktionaler Schichten und Schichtsysteme, Diffusionsbarrieren, Metallisierungen verschiedener Einsatzbereiche.
Description
Waferbeschichtung - Oxidation, PECVD-, ALD- und PVD-Prozesse für Herstellung funktionaler Schichten und Schichtsysteme, Diffusionsbarrieren, Metallisierungen verschiedener Einsatzbereiche.
Points of Contact
Dr.rer.nat. Wenzel, Christian
Position:
Institutsoberassistent / senior scientist
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Prof. Dr. rer. nat. J.W. Bartha/ Mrs. R. Pfennig (Secretary)
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Last updated at: 27 March 2018 at 11:20:01