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Basic Information
| Name: | Wafer Coating | |
| Facility: | Chair for Semiconductor Technology (HLT) | |
| Partner: | Technische Universität Dresden (TUD) |
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Short Description
Waferbeschichtung - Oxidation, PECVD-, ALD- und PVD-Prozesse für Herstellung funktionaler Schichten und Schichtsysteme, Diffusionsbarrieren, Metallisierungen verschiedener Einsatzbereiche.
Description
Waferbeschichtung - Oxidation, PECVD-, ALD- und PVD-Prozesse für Herstellung funktionaler Schichten und Schichtsysteme, Diffusionsbarrieren, Metallisierungen verschiedener Einsatzbereiche.
Points of Contact
Dr.rer.nat. Wenzel, Christian
Position:
Institutsoberassistent / senior scientist
Email:
Phone:
+4935146336413
Fax:
+4935146337172
Prof. Dr. rer. nat. J.W. Bartha/ Mrs. R. Pfennig (Secretary)
Email:
Phone:
+49 351 463-35468
Fax:
+49 351 463-37172
Images
| Preview | Description |
|---|---|
Source: IHM-TU Dresden |
Wafer Coating |
Last Update
Last updated at: 27 March 2018 at 11:20:01