Alle Dienstleistungen dieser Einrichtung anzeigen Waferbeschichtung
Informationen
| Name: | Waferbeschichtung | |
| Einrichtung: | Professur für Halbleitertechnik (HLT) | |
| Partner: | Technische Universität Dresden (TUD) |
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Kurzbeschreibung
Waferbeschichtung - Oxidation, PECVD-, ALD- und PVD-Prozesse für Herstellung funktionaler Schichten und Schichtsysteme, Diffusionsbarrieren, Metallisierungen verschiedener Einsatzbereiche.
Beschreibung
Waferbeschichtung - Oxidation, PECVD-, ALD- und PVD-Prozesse für Herstellung funktionaler Schichten und Schichtsysteme, Diffusionsbarrieren, Metallisierungen verschiedener Einsatzbereiche.
Ansprechpartner
Dr.rer.nat. Wenzel, Christian
Position:
Institutsoberassistent / senior scientist
E-Mail:
Telefon:
+4935146336413
Fax:
+4935146337172
Prof. Dr. rer. nat. J.W. Bartha/ Mrs. R. Pfennig (Secretary)
E-Mail:
Telefon:
+49 351 463-35468
Fax:
+49 351 463-37172
Bilder
| Vorschau | Beschreibung |
|---|---|
Quelle: IHM-TU Dresden |
Waferbeschichtung |
Letztes Update
Zuletzt aktualisiert am: 27. März 2018 um 11:20:01