Ionenätzanlage

Hersteller: scia Systems GmbH
Modell: Scia Mill 150
Einrichtung: Professur für Beschichtungstechnologien für die Elektronik

Multi-Target Sputteranlage

Hersteller: von Ardenne Anlagentechnik GmbH
Modell: LS730s
Einrichtung: Professur für Beschichtungstechnologien für die Elektronik

Sputteranlage mit RF- und (pulsed) DC-Modi für Abscheidungen mit bis zu 4 simultan aktiven metallischen und/oder keramischen Targets. Betriebstemperatur < 650 °C (<1200 °F)

Zweistrahl-Laservibrometer

Hersteller: Polytec
Einrichtung: Professur für Biomedizinische Sensorik

Mechanische Kristall- und Waferbearbeitung

Einrichtung: Professur für Beschichtungstechnologien für die Elektronik

Chip Bonder

Hersteller: K&S
Modell: Types 1419 & 4126
Einrichtung: Professur für Beschichtungstechnologien für die Elektronik

Photolithografie

Einrichtung: Professur für Beschichtungstechnologien für die Elektronik

Profilometer

Hersteller: Veeco Instruments GmbH
Modell: DEKTAK 3 ST AUTO
Einrichtung: Professur für Beschichtungstechnologien für die Elektronik

impact HD QTOF Massenspektrometer

Hersteller: Bruker GmbH
Modell: Impact HD QTOF
Einrichtung: Massenspektrometrie & Proteomik

High resolution hybrid quadrupole - time-of-flight (TOF) mass spectrometer (R(max): 40,000 at m/z 1522) with MS/MS option by quadrupole CID with high resolution detection.

Velos Orbitrap Elite Massenspektrometer

Hersteller: Thermo Fisher Scientific GmbH
Modell: Velos Orbitrap Elite
Einrichtung: Massenspektrometrie & Proteomik

High resolution hybrid mass spectrometer R(max): 240,000 at m/z 400) with the following MS/MS options: CID with detection in iontrap (low res., MSn capability) or orbitrap (high res.), HCD (high res.)

Niederspannungs-Rasterelektronenmikroskop mit Feldemissionskathode (FE REM)

Hersteller: Carl Zeiss Microscopy GmbH
Modell: DSM 982 Gemini
Einrichtung: Elektronenmikroskopisches Labor

Hochauflösendes Niederspannungs-Rasterelektronenmikroskop mit Feldemissionskathode.