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Temper-, Diffusions- und Oxydationsöfen
Hersteller: ATV Technologie GmbH Vaterstetten Modell: ATV Einrichtung: Professur für Halbleitertechnik
FTIR-Spektrometer
Hersteller: Perkin-Elmer Modell: Spectrum 2000 Einrichtung: Professur für Festkörperelektronik