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Anlage zum Chemisch Mechanischen Polieren
Hersteller: Megapol Fa. Alpisec; G&P Korea Einrichtung: Professur für Halbleitertechnik
Präzisionskristallbearbeitung
Hersteller: Struers Modell: PM2A Einrichtung: Professur für Festkörperelektronik
Multi-Target-Sputteranlage
Hersteller: von Ardenne Anlagentechnik Modell: LS703S Einrichtung: Professur für Festkörperelektronik