Alle Geräte dieser Einrichtung anzeigen Field Emission Scanning Electron Microscope (FE SEM) with focused ion beam (REM/ FIB) Carl Zeiss SMT AG CrossBeam NVision 40 ®
Informationen
| Name: | Field Emission Scanning Electron Microscope (FE SEM) with focused ion beam (REM/ FIB) | |
| Hersteller: | Carl Zeiss SMT AG | |
| Modell: | CrossBeam NVision 40 ® | |
| Einrichtung: | Mikroelektronik und Nanoanalytik | |
| Partner: | Fraunhofer-Institut für Keramische Technologien und Systeme (IKTS) |
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Beschreibung
Die Zweistrahl-Anlage NVision 40 (Carl Zeiss SMT AG) ermöglicht es, in situ den Materialabtrag im Elektro- nenstrahlbild zu beobachten. Damit kann nicht nur zielgenau präpariert, sondern auch eine dreidimensionale artefaktfreie Fehlerdiagnostik vorge- nommen werden. Außerdem bietet das System die Möglichkeit, elektro- nenstrahltransparente Lamellen her- zustellen, welche im TEM bzw. auch direkt im Gerät mittels STEM-Detek- tor analysiert werden können. Damit ist die hochauflösende Darstellung von Gefügestrukturen bis in den Nanometerbereich realisierbar.
Auflösung (REM): 1.1 nm @ 20kV / 2.5 nm @ 1 kV
Auflösung (FIB): ≤ 4nm @ 30kV
Measure/Resolution:
- 2 nm
Accessory/Options:
- Micromanipulator, EDX
- FE-SEM & Ga-FIB
- Gas assisted etch & deposition
- Kleindiek Nanomanipulator
Available in-situ tools:
- Heating stage
- Rotational 4-point bending tool
- cryo stage
Ansprechpartner
Dr. Birgit Jost and Dr. André Clausner
Web:
E-Mail:
Telefon:
+49 351 88815-547
Fax:
+49 351 88815-509
Notizen
This is an instrument within the Dresden Fraunhofer Cluster Nanoanalysis (DFCNA).
Bilder
| Vorschau | Beschreibung |
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REM/FIB Zeiss CrossBeam NVision 40® |
Letztes Update
Zuletzt aktualisiert am: 27. Februar 2023 um 10:57:51