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Field Emission Scanning Electron Microscope (FE SEM) with focused ion beam (REM/ FIB) Carl Zeiss SMT AG CrossBeam NVision 40 ®

Informationen

Name:	Field Emission Scanning Electron Microscope (FE SEM) with focused ion beam (REM/ FIB)
Hersteller:	Carl Zeiss SMT AG
Modell:	CrossBeam NVision 40 ®
Einrichtung:	Mikroelektronik und Nanoanalytik
Partner:	Fraunhofer-Institut für Keramische Technologien und Systeme (IKTS)

Beschreibung

Die Zweistrahl-Anlage NVision 40 (Carl Zeiss SMT AG) ermöglicht es, in situ den Materialabtrag im Elektro- nenstrahlbild zu beobachten. Damit kann nicht nur zielgenau präpariert, sondern auch eine dreidimensionale artefaktfreie Fehlerdiagnostik vorge- nommen werden. Außerdem bietet das System die Möglichkeit, elektro- nenstrahltransparente Lamellen her- zustellen, welche im TEM bzw. auch direkt im Gerät mittels STEM-Detek- tor analysiert werden können. Damit ist die hochauflösende Darstellung von Gefügestrukturen bis in den Nanometerbereich realisierbar.

Auflösung (REM): 1.1 nm @ 20kV / 2.5 nm @ 1 kV

Auflösung (FIB): ≤ 4nm @ 30kV

Measure/Resolution:

2 nm

Accessory/Options:

Micromanipulator, EDX
FE-SEM & Ga-FIB
Gas assisted etch & deposition
Kleindiek Nanomanipulator

Available in-situ tools:

- Heating stage

- Rotational 4-point bending tool

- cryo stage

Ansprechpartner

Dr. Birgit Jost and Dr. André Clausner

Web:

https://www.ikts.fraunhofer.de/de/abteilungen/elektronik_mikrosystem_biomedizintechnik/mikroelektronik-materialien_nanoana...

E-Mail:

e-mail

Telefon:

+49 351 88815-547

Fax:

+49 351 88815-509

Notizen

This is an instrument within the Dresden Fraunhofer Cluster Nanoanalysis (DFCNA).

Bilder

Vorschau	Beschreibung
	REM/FIB Zeiss CrossBeam NVision 40®

Letztes Update

Zuletzt aktualisiert am: 27. Februar 2023 um 10:57:51