X - Ray Fluorescence (XRF) Spectrometer - Wafer Analyzer Phillips (now: PANalytical B.V.) PW2830
Informationen
Name: | X - Ray Fluorescence (XRF) Spectrometer - Wafer Analyzer | |
Hersteller: | Phillips (now: PANalytical B.V.) | |
Modell: | PW2830 | |
Partner: | Fraunhofer-Institut für Zuverlässigkeit und Mikrointegration (IZM (ASSID)) |
Beschreibung
The PW2830 XRF wafer analyzer from Philips Analytical determines layer composition, layer thickness, contamination, dopant levels, and surface uniformity on semiconductor wafer sizes up to 300 mm.
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Notizen
This is an instrument within the Dresden Fraunhofer Cluster Nanoanalysis (DFCNA).
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Zuletzt aktualisiert am: 13. Juli 2017 um 11:54:13