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X - Ray Fluorescence (XRF) Spectrometer - Wafer Analyzer Phillips (now: PANalytical B.V.) PW2830

Informationen

Name: X - Ray Fluorescence (XRF) Spectrometer - Wafer Analyzer
Hersteller: Phillips (now: PANalytical B.V.)
Modell: PW2830
Partner: Fraunhofer-Institut für Zuverlässigkeit und Mikrointegration (IZM (ASSID))

Beschreibung

The PW2830 XRF wafer analyzer from Philips Analytical determines layer composition, layer thickness, contamination, dopant levels, and surface uniformity on semiconductor wafer sizes up to 300 mm.

Link zu weiteren Informationen

http://www.panalytical.com/XRF-spectrometers.htm

Ansprechpartner

M. Jürgen Wolf
E-Mail:
Telefon:
+49 351 795572-12
Fax:
+49 351 795572-19

Notizen

This is an instrument within the Dresden Fraunhofer Cluster Nanoanalysis (DFCNA).

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Letztes Update

Zuletzt aktualisiert am: 13. Juli 2017 um 11:54:13