Alle Geräte dieser Einrichtung anzeigen Focused Ion Beam (FIB) FEI Expida 1285
Informationen
| Name: | Focused Ion Beam (FIB) | |
| Hersteller: | FEI | |
| Modell: | Expida 1285 | |
| Einrichtung: | Professur für Halbleitertechnik (HLT) | |
| Partner: | Technische Universität Dresden (TUD) |
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| Standort: | Forschungsgebäude am Mierdel-Bau (FAM) | |
Ansprechpartner
Dr.rer.nat. Wenzel, Christian
Position:
Institutsoberassistent / senior scientist
E-Mail:
Telefon:
+4935146336413
Fax:
+4935146337172
Prof. Dr. rer. nat. J.W. Bartha/ Mrs. R. Pfennig (Secretary)
E-Mail:
Telefon:
+49 351 463-35468
Fax:
+49 351 463-37172
Bilder
| Vorschau | Beschreibung |
|---|---|
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Dual Beam - 300mm - Ga ion gun 3...30 keV - W and C depo - XeF2 etch - omniprobe |
Letztes Update
Zuletzt aktualisiert am: 27. März 2018 um 11:21:05