Dresden
Technologieportal

 
Ihr Zugang zu Forschungsinfrastruktur und Know-how
de|en

Geräte — Professur für Halbleitertechnik (HLT)

Technische Universität Dresden
Filter:

Einrichtungen: diese Einrichtung(22), untergeordnete Einrichtungen(0),

Sortierung:

22 Ergebnisse

 

Stylus Profilometer

Hersteller: Veeco
Modell: Dektak 8
Einrichtung: Professur für Halbleitertechnik

Profilometer bis 100mm Weglänge. Messungen intrinsischer Schichtspannungen.

 

Wafersäge

Hersteller: Disco Technologies Japan
Modell: DAD3350
Einrichtung: Professur für Halbleitertechnik

 

Focused Ion Beam (FIB)

Hersteller: FEI
Modell: Expida 1285
Einrichtung: Professur für Halbleitertechnik

 

CVS Analysator

Hersteller: Metrohm AG
Modell: VA Computrace 797
Einrichtung: Professur für Halbleitertechnik

 

ALD Anlagen

Hersteller: FHR / Beneq
Einrichtung: Professur für Halbleitertechnik

 

Temper-, Diffusions- und Oxydationsöfen

Hersteller: ATV Technologie GmbH Vaterstetten
Modell: ATV
Einrichtung: Professur für Halbleitertechnik

 

Anlage zum Chemisch Mechanischen Polieren

Hersteller: Megapol Fa. Alpisec; G&P Korea
Einrichtung: Professur für Halbleitertechnik

1 2 3