Das Raster-Elektronen-Mikroskop (REM) erlaubt es, durch die Bilderzeugung mittels Elektronen, eine deutliche höhere Vergrößerungsrate als ein herkömmliches Lichtmikroskop zu erreichen. Mit diesem Gerät sind Vergrößerungen bis 200.000-fach möglich. Somit können Einblicke in Bereiche der Oberflächenstruktur, die mit konventionellen Mitteln nicht möglich sind, erhalten werden. Mit dem Einsatz eines Mikro-Zug-Moduls können mit dem REM Schädigungen bei Zugbeanspruchungen aufgezeigt werden, die ggf. später zum Versagen am Bauteil führen können.
Mittels des Einsatz einer Vakuumblende und so dem Erzeugen eines Niedervakuum in der Probenkammer können auch Kunststoffe und Nichtmetalle, welche die Elektronen nicht ableiten können, sehr gut abgebildet werden.