Klimakammer

Einrichtung: Mikroelektronik und Nanoanalytik

X-ray Microscope (XRM)

Hersteller: Xradia (now Carl Zeiss Ultra)
Modell: NanoXCT-100
Einrichtung: Mikroelektronik und Nanoanalytik

Field Emission Scanning Electron Microscope (FE SEM) with focused ion beam (REM/ FIB)

Hersteller: Carl Zeiss SMT AG
Modell: CrossBeam NVision 40 ®
Einrichtung: Mikroelektronik und Nanoanalytik

Helios 5 PFIB CXe DualBeam

Hersteller: ThermoFisher
Modell: Helios 5 PFIB CXe
Einrichtung: Mikroelektronik und Nanoanalytik

BET Accelerated Surface Area and Porosimetry (ASAP) Analyzer

Hersteller: Micromeritics GmbH
Modell: ASAP 2010 BET
Einrichtung: Pulver- und Suspensionscharakterisierung

Elektromechanische Zug-Druck-Prüfmaschine

Hersteller: ZwickRoell GmbH
Modell: Z250
Einrichtung: Professur für Anorganisch-Nichtmetallische Werkstoffe

Im Hauptprüfraum sind Prüfungen bis 250 kN möglich, der seitliche Prüfraum erlaubt Prüfungen bis 50 kN.

HG-Porosimeter / Quecksilber Porosimeter

Hersteller: Micromeritics GmbH
Modell: AutoPore IV 9500
Einrichtung: Pulver- und Suspensionscharakterisierung

Accelerated Surface Area and Porosimetry (ASAP) Analyzer

Hersteller: Micromeritics GmbH
Modell: ASAP 2020 MP
Einrichtung: Pulver- und Suspensionscharakterisierung

Rohrofen mit Sourcemeter und Nanovoltmeter

Hersteller: Tektronix GmbH / Keithley
Modell: 2611A / 2182A
Einrichtung: Mechanische Werkstoffprüfung

Rohrofen mit Multimeter Messgerät zur Bestimmung des Widerstands

Hersteller: Tektronix GmbH / Keithley
Modell: 2750
Einrichtung: Mechanische Werkstoffprüfung