Alle Geräte dieser Einrichtung anzeigen Rolle-zu-Rolle Nanoimprint Lithographie Coatema Basecoater BC 51
Informationen
| Name: | Rolle-zu-Rolle Nanoimprint Lithographie | |
| Hersteller: | Coatema | |
| Modell: | Basecoater BC 51 | |
| Einrichtung: | Professur für laserbasierte Fertigung | |
| Partner: | Technische Universität Dresden (TUD) |
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| Partner: | Fraunhofer-Institut für Werkstoff- und Strahltechnik (IWS) |
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| Inventarnummer: | 25144653 | |
Beschreibung
UV-NIL Modus:
Bei der UV-Nanoimprint-Lithographie (NIL) wird das Substrat mit einem UV-härtbaren Resist beschichtet, der mit einer Form bedruckt und anschließend mit UV-Licht gehärtet wird. Auf diese Weise wird eine umgekehrte Struktur der Form geschaffen.
Thermischer-NIL Modus:
Während der thermischen NIL werden die strukturierten Walzen über die Glasübergangstemperatur (Tg) erhitzt und während des Drehens gegen die Gegenwalze gedrückt, wodurch die inverse Struktur auf das thermoplastische Polymer übertragen wird.
| Prozess Parameter | UV-NIL | Thermal-NIL |
| Imprint Temperatur | bis 120 °C | bis 160 °C |
| Vorheiztemperatur | bis 200 °C | bis 200 °C |
| Druck | up to 72 N/mm² | up to 200 N/mm² |
| Geschwindigkeit | 1-50 m/min | 1-50 m/min |
| Folienbreite | 250 mm | 250 mm |
| UV-Lampe Intensität | 140 W/cm² |
Ansprechpartner
Prof. Dr.-Ing. Andrés F. Lasagni / Mrs. Lisa Becher (Sec.)
Web:
E-Mail:
Telefon:
+49 351 463-37844
Fax:
+49 351 463-37755
Bilder
| Vorschau | Beschreibung |
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Quelle: ©Coatema |
Rolle-zu-Rolle Anlage |
Letztes Update
Zuletzt aktualisiert am: 12. September 2018 um 11:47:49