Vertikale Inline Beschichtungsanlage für die Entwicklung von Schichtsystemen und Technologien zur Abscheidung von optischen, elektrischen und dekorativen Funktionsschichten.

In der in-line Sputteranlage ILA 900 können wir Schichten und Schichtsysteme auf Flachsubstrate bis zu einer typischen Größe von 1200 × 600 × 60 Millimetern aufbringen. Die Anlage ist so gestaltet, dass an acht Prozessstationen Metalle, Metalloxide, -nitride und -oxinitride reaktiv oder von keramischen Targets durch unipolares oder bipolares Magnetron-Sputtern ein- oder beidseitig aufgebracht werden können.

Typische Substrate

• Ein- oder Zweiseitenbeschichtung von Substraten aus Metall, Kunststoff, Glas oder Keramik mit einer Substratabmessung bis 1200 × 900 mm² mit einer maximalen Dicke von 60 mm (maximale homogene Beschichtungsbreite 600 mm).

Aufgabenspektrum

• Entwicklung, Test und Erprobung von technologischen Komponenten und von Schlüsselkomponenten für die Abscheidung von Metallen und Oxiden unter industrienahen Bedingungen
• Entwicklung von optischen, elektrischen, dekorativen Funktionsschichten und Schichtsystemen
• Beschichtungen: 
• für spezielle Untersuchungen
• für die Marktentwicklung
• zur Bemusterung beim Endkunden
• Pilotproduktion
• Untersuchungen zur Wirtschaftlichkeit