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Alle Geräte dieser Einrichtung anzeigen Versuchsanlage zur plasmaaktivierten Elektronenstrahlbedampfung VERSA
Informationen
| Name: | Versuchsanlage zur plasmaaktivierten Elektronenstrahlbedampfung | |
| Modell: | VERSA | |
| Partner: | Fraunhofer-Institut für Elektronenstrahl- und Plasmatechnik (FEP) |
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Kurzbeschreibung
Vakuumbeschichtungsanlage mit Hochleistungselektronenstrahlausrüstung (300 kW) zur plasmaaktivierten Bedampfung unter aufskalierbaren Bedingungen.
Beschreibung
Vakuumbeschichtungsanlage mit Hochleistungselektronenstrahlausrüstung (300 kW) zur plasmaaktivierten Bedampfung unter aufskalierbaren Bedingungen
Typische Substrate
- Beschichtung von Platten aus Metall, Kunststoff, Glas oder Keramik mit einer maximalen Abmessung von 120 mm × 200 mm
- Beschichtung von dreidimensionalen Bauteilen
Aufgabenspektrum
- Technologieentwicklung, insbesondere neuer Plasmaprozesse bei der Hochratebedampfung und Substratvorbehandlung
- Entwicklung neuer PVD-Schichtsysteme
- Grundlegende Untersuchungen zur plasmaaktivierten Elektronenstrahlbedampfung
- Musterbeschichtungen
Link zu weiteren Informationen
https://www.fep.fraunhofer.de/de/Kernkompetenzen/Anlagentechnik/versa.html
Optionen der Gerätenutzung
- Dieses Gerät wird im Rahmen einer Dienstleistung oder Forschungsleistung (Kooperation) verwendet.
Ansprechpartner
Bilder
| Vorschau | Beschreibung |
|---|---|
Quelle: © Fraunhofer FEP |
Vakuumbeschichtungsanlage VERSA |
Letztes Update
Zuletzt aktualisiert am: 7. Juni 2019 um 10:13:02